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視頻采集技術在四探針測試系統(tǒng)中的應用

日期:2020-12-01瀏覽:1604次

  四探針測試技術是半導體生產中主要監(jiān)測手段之一,并且在半導體材料的測量中發(fā)揮著越來越重要的作用。四探針測試技術是一種高的精度測量技術,在有些情況下還需要有高分辨率。每一種四探針法對探針的結構、位置和針尖距都有不同的要求,一般情況下,針距都是很小的,可能低于1mm。在大片徑樣品測量中,要盡可能地減小測量區(qū)域,以便更好地觀測樣品電阻率的不均勻性。
 
  鑒于以上原因,在測量時需要對測試臺、樣品和探針都進行細微的實時監(jiān)測,保證測量是在允許的情況下進行的。但是人的肉眼的分辨率有限,直接依靠肉眼觀測容易疲勞而產生誤判,而且不能進行記錄,會給測量結果帶來很大的誤差。通常情況下可以通過顯微鏡解決肉眼分辨率低的問題,但是檢測起來還是相當麻煩。視頻采集技術的發(fā)展可以很好地解決以上問題,能對測試過程進行圖像采集、記錄和分析,達到實時監(jiān)測的要求,而且有很高的分辨率,方便測量員對測量過程的控制。
 
  視頻采集技術在四探針測量中發(fā)揮著重要作用,主要體現(xiàn)在兩個方面:
 
  1)對顯微鏡監(jiān)測對象的圖像進行實時采集;
 
  2)對采集到的視頻數(shù)據(jù)進行處理,包括分析、記錄和顯示。一般可以借助計算機實現(xiàn)視頻信息的記錄與顯示,從而使得傳統(tǒng)的探針測試臺與計算機技術緊密地結合起來。
 
  視頻采集技術的引進實現(xiàn)了對四探針測量過程真正意義上實時監(jiān)測,提高了測試儀的控制精確性,從而提高了測量結果的精度和性,尤其對觀測樣品電阻率的不均勻性有很大的幫助。

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